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造价超21亿元!阿斯麦向英特尔交付首台高NA EUV光刻系统

发布时间:2023-12-22 11:07:09 发布用户: 15210273549

荷兰半导体设备制造巨头阿斯麦(ASML)确认,向英特尔交付首台高数值孔径(NA)的极紫外(EUV)光刻系统。

数值孔径是用来衡量光学系统能够收集的光的角度范围,通过增大数值孔径,可以实现更小的分辨率和更高的分辨能力,从而满足微细加工的要求。

据介绍,每台新机器的造价成本超过3亿美元(约合21.4亿元人民币),可以满足一线芯片制造商的需求,未来十年内能够制造更小、更好的芯片。

阿斯麦发布了这台机器的一部分从荷兰维尔德霍芬总部出发的照片,照片中机器的一部分被装在一个保护盒里,周围还系着一条红丝带。

阿斯麦同时表示:“我们很兴奋,也很自豪能将我们的第一个高数值孔径EUV系统交付给英特尔。”

这台机器组装后将比一辆卡车还大,将用250个单独的板条箱运送,其中包括13个大集装箱,预计将从2026年或2027年开始用于商用芯片制造。

除了英特尔外,台积电、三星、SK海力士和美光等也都订购了这款机器。

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